PT200S濺射薄膜壓敏元件
薄膜式壓力傳感器采用進(jìn)口的合金薄膜壓力敏感元件結(jié)合先進(jìn)的工藝制作而成。壓力介質(zhì)直接作用在17-4PH不銹鋼膜片上制作了惠斯登電橋的合金薄膜應(yīng)變單元，該合金材料以分子形式在彈性體上淀積成薄膜應(yīng)變電阻，薄膜電阻與彈性體以分子鍵合“融”為一體，可長(zhǎng)期在-40～150℃工作溫度下穩(wěn)定工作。
◆ 主要技術(shù)參數(shù)
壓力量程（bar）：0-5、7~2200
靈敏度：1-2mV/V
輸入阻抗：2900-4000Ω，典型3440Ω
輸出阻抗：2800-3800Ω，典型3300Ω
零位偏置：±1mV/V
零位溫度漂移：±0.5%FS/100℃
靈敏度溫度漂移：±0.25%FS/100℃
溫度滯后：±0.05%FS
共振頻率：50KHz
長(zhǎng)期穩(wěn)定性：100萬(wàn)次壓力循環(huán)≤0.15%FS/年,儲(chǔ)存≤0.1%FS/年
工作溫度范圍：-40～150℃
補(bǔ)償溫度范圍：-40～150℃