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1. 簡(jiǎn)介
1.1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(zhǎng)為單位的高精度、高靈敏度檢測(cè)設(shè)備，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀采用美國(guó)進(jìn)口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線性測(cè)量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測(cè)量，并進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、分辨力高等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測(cè)量，并能對(duì)設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時(shí)間-位移等動(dòng)態(tài)性能分析。
在相關(guān)軟件的配合下，可自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償方案，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。
2. 功能特點(diǎn)
2.1. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)
測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測(cè)功能?？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。
可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量(位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線) 及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國(guó)標(biāo)(GB) 、ISO(國(guó)際) 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共10份 ?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。
安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。
2.2. 分析標(biāo)準(zhǔn)配置
激光干涉儀測(cè)量分析軟件支持以下檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)：
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數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)置的常用標(biāo)準(zhǔn) |
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序號(hào) |
標(biāo)準(zhǔn)號(hào) |
標(biāo)準(zhǔn)名稱 |
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1 |
ISO230-2 |
老版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
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2 |
ISO230-1997 |
新版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
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3 |
ANSI B5.54 |
美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
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4 |
ASME B89.1.12M |
美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) |
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5 |
NMTBA |
美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) |
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6 |
BS 3800 |
英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
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7 |
BS 4656 |
英國(guó)三測(cè)機(jī)標(biāo)準(zhǔn) |
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8 |
JIS B6330 |
日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
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9 |
GB 17421-2000 |
中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
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10 |
VDI 3441 |
德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
3. 技術(shù)指標(biāo)
3.1. 技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)性能
? 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
? 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
? 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
? 預(yù)熱時(shí)間：約6分鐘
? 工作溫度范圍：(0~40)℃
? 環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH
? 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
? 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
? 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
? 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH
? 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
? 測(cè)量距離：(0~40)m
? 測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃
? 測(cè)量分辨力：1nm
? 測(cè)量*大速度：4m/s
角度測(cè)量
? 軸向量程：(0~15)m
? 測(cè)量范圍：±10°
? 測(cè)量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)
? 測(cè)量分辨力：0.1″
平面度測(cè)量
? 軸向量程：(0~15)m
? 測(cè)量范圍：±1.5 mm
? 測(cè)量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
? 基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測(cè)量分辨力：0.1μm
直線度測(cè)量
? 軸向量程：(0.1~4.0)m
? 測(cè)量范圍：±3mm
? 測(cè)量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
? 測(cè)量分辨力：0.01μm
垂直度測(cè)量
? 軸向量程：(0.1~3.0)m
測(cè)量范圍：±3mm
? 測(cè)量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
? 測(cè)量分辨力：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量
? 角度測(cè)量范圍：(0~360)°
? 測(cè)量精度：±1″
*高轉(zhuǎn)速：10rpm
鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)。
3.2. 尺寸重量與供電
² 便攜箱尺寸： 560mm×460mm×270mm
² 基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg
² 供電電源：(100~240)VAC