TV－2KG 分子泵系統(tǒng)
　
•*典型應(yīng)用－針對(duì)薄膜沉積設(shè)備而特別設(shè)計(jì)的抽氣系統(tǒng)

•是目前性能*優(yōu)，造型*緊湊的機(jī)型
•*新型的一體式抽氣理念，旨在實(shí)現(xiàn)*大生產(chǎn)量和*短停機(jī)時(shí)間
　
系統(tǒng)界面

•一體化 的機(jī)型包括了渦輪分子泵，驅(qū)動(dòng)配置，供電電源配置，氣體保護(hù)配置機(jī)通信配置
•通用 的電子接口，便于用戶使用控制軟件
•模擬I/O信號(hào)，標(biāo)配為RS232或RS485接口
•可選配Varian 通用總線控制接口
　
應(yīng)用知識(shí)
　

•在特定的應(yīng)用領(lǐng)域，通用產(chǎn)品無法全面滿足性能要求
•TV－2KG是應(yīng)廣大用戶的真實(shí)需求而開發(fā)，可實(shí)現(xiàn)用戶滿意度
•配備獨(dú)特，為工業(yè)鍍膜行業(yè)量身定做
•滿足工業(yè)生產(chǎn)的工藝要求，得到工業(yè)界的認(rèn)同

供貨鏈及物流

•通過有效的組織和計(jì)劃，保證了在*合適的時(shí)間和地點(diǎn)提供配件，減少用戶在當(dāng)?shù)氐膸齑?
•供貨鏈上各種相關(guān)產(chǎn)品能高效周轉(zhuǎn)，用戶只備少量庫存亦可應(yīng)付自如
•Varian的客戶服務(wù)組織采用先進(jìn)的SAP系統(tǒng)，在全球共同運(yùn)作

監(jiān)測及故障診斷

•具備自診斷功能
•實(shí)時(shí)監(jiān)測分子泵的各項(xiàng)參數(shù)，包括振動(dòng)圖譜
•借助簡單的數(shù)據(jù)連接，Varian的服務(wù)組織可以為您提供實(shí)時(shí)服務(wù)
•主動(dòng)的維護(hù)計(jì)劃使分子泵的使用壽命及無故障運(yùn)行時(shí)間大大延長
　
完善的支持

•設(shè)有免費(fèi)的熱線電話，為您提供實(shí)時(shí)全程服務(wù)
•各地的Varian代表使用您熟悉的語言與您溝通，為您提供技術(shù)/應(yīng)用/訂貨/工程等方面的支持
•提供*廣泛的服務(wù)計(jì)劃，即使苛刻的需求您也可以得到專門周到的服務(wù)
　
鍍膜領(lǐng)域的應(yīng)用包括

•建筑玻璃鍍膜，汽車玻璃鍍膜，太陽能玻璃鍍膜
•平板顯示屏鍍膜
•光學(xué)及電磁數(shù)據(jù)存儲(chǔ)產(chǎn)品的鍍膜，如讀寫探頭
•用于增強(qiáng)耐磨性能的表面處理
•用于眼科透鏡的光學(xué)鍍膜及用于光學(xué)數(shù)據(jù)傳輸上的慮光鏡鍍膜
•制備功能性薄膜及裝飾型鍍膜，包括金屬化膜層
•可應(yīng)用于食品工業(yè)，包裝業(yè)及電子產(chǎn)品行業(yè)的卷繞鍍膜
•可應(yīng)用于氣載叫道的PVD及其它等離子體工藝設(shè)備
　
可靠的設(shè)計(jì)

TV－2KG身為分子泵的一員，但性能更勝過普通分子泵，它是專為等離子體工藝領(lǐng)域設(shè)計(jì)開發(fā)的抽氣系統(tǒng)。事實(shí)上，TV－2KG的各抽氣級(jí)甚至整個(gè)泵的結(jié)構(gòu)，都是以能在較高氬氣負(fù)載和溫度條件下保持*佳抽氣性能為目標(biāo)來優(yōu)化設(shè)計(jì)的，它的電路系統(tǒng)具有更多附加特性，泵內(nèi)還集成了放氣和抽氣閥門，其軸承具有免維護(hù)特性，這些優(yōu)點(diǎn)無疑使TV－2KG成為應(yīng)用在鍍膜行業(yè)的*好的分子泵。
　
獨(dú)特的拖動(dòng)級(jí)設(shè)計(jì)

TV－2KG雖然外形緊湊，但其拖動(dòng)級(jí)的獨(dú)特設(shè)計(jì)確保了在高原強(qiáng)下對(duì)氬氣抽氣使仍保持大抽氣量。拖動(dòng)級(jí)由一體化的兩層盤片組成，這樣的設(shè)計(jì)大大提高了散熱效率 ，因而*大程度地降低了泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的內(nèi)部溫度。

內(nèi)置的充氣及放氣裝置

TV－2KG將充氣及放氣閥集成于泵內(nèi)，為世界首例。充氣保護(hù)及放氣過程的控制都由內(nèi)部電路驅(qū)動(dòng)完成，不再需要任何部件置于泵體外部。分子泵在這樣周到的保護(hù)下，不易受到外部沖擊和污染的損傷，因而*大限度地延長了使用壽命。
　
免維護(hù)

TV－2KG系統(tǒng)配置了Varian獨(dú)有地軸承和無油潤滑系統(tǒng)，可免維護(hù)長期運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，它可任意位置安裝，而絲毫不會(huì)降低其性能和壽命。
　
內(nèi)置的溫度監(jiān)測系統(tǒng)

TV－2KG配備了特別的溫度控制系統(tǒng)，使其能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控泵的氣載，功率，及冷卻水溫度，確保了材料負(fù)荷及軸承負(fù)荷在安全范圍內(nèi)工作。
內(nèi)置型具有防水性能的電路系統(tǒng)

TV－2KG所有的電路系統(tǒng)，都置于泵的底殼內(nèi)，具有防水特性，符合IP54規(guī)范。借助微處理器的強(qiáng)大功能，TV－2KG的控制接口能與外部控制系統(tǒng)方便地連接，并通過一臺(tái)筆記本電腦和Navigator軟件輕松實(shí)現(xiàn)各種控制。
分子泵選型指南

分子泵
產(chǎn)品型號(hào) V70 V70D V70LP V301 V551 V701 V1001 V2000HT V6000
轉(zhuǎn)速 rpm 75000 75000 75000 56000 42000 42000 38000 33000 14000
進(jìn)氣口法蘭 DN 40/63 40/63 40/63 100/160 100/160 200 160/200/250 250 500
出氣口法蘭DN 16 16 16 16 25 25 40 40 100
抽速 N 2 L/s 46/68 40/60 46/68 250/280 350/550 690 790/950/1050 1950 6000
壓縮比 N2 5×107 5×107 5×108 7×108 ＞1×109 1×109 1×109 ＞1×109 ＞1×1010
極限壓強(qiáng) mbar 1×10-9 ＜1×10-9 ＜2×10-10 ＜5×10-10 ＜1×10-10 ＜1×10-10 ＜1×10-10 1×10-10 ＜1×10-10
啟動(dòng)時(shí)間 min ＜ 1 ＜ 1 ＜ 1 2.5 ＜ 5 ＜ 5 ＜ 4 10 30